臺(tái)積電保持觀望 ASML最新EUV機(jī)臺(tái)只賣了5臺(tái)

荷蘭阿斯麥（ASML）全新機(jī)臺(tái)卻讓臺(tái)積電望之卻步！ 英媒指出，盡管阿斯麥最新一代的高數(shù)值孔徑（High-NA）極紫外光（EUV）微影設(shè)備性能強(qiáng)大，但因這款機(jī)臺(tái)單價(jià)高達(dá)4億美元，臺(tái)積電高層表示，目前「找不到非用不可的理由」，因此暫時(shí)沒(méi)有計(jì)畫在A14及其后續(xù)制程中導(dǎo)入。

路透27日?qǐng)?bào)導(dǎo)，這款先進(jìn)機(jī)臺(tái)價(jià)格逼近4億美元，幾乎是晶圓廠現(xiàn)有最昂貴設(shè)備的兩倍。 目前，各家芯片制造商正在仔細(xì)評(píng)估，這款設(shè)備在曝光速度以及分辨率上面的提升，是否真的符合如此高昂的價(jià)格。

臺(tái)積電技術(shù)開(kāi)發(fā)資深副總經(jīng)理張曉強(qiáng)表示，即便不使用High-NA EUV設(shè)備，A14制程仍能實(shí)現(xiàn)顯著的技術(shù)升級(jí)。 「因此，我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)將持續(xù)專注于微縮（scaling）效益的開(kāi)發(fā)，并致力于延長(zhǎng)現(xiàn)有Low-NA EUV（低數(shù)值孔徑極紫外光）微影設(shè)備的使用壽命?！?/p>

張曉強(qiáng)坦言：「只要我們能持續(xù)找到替代方案，就沒(méi)有必要采用這款昂貴的設(shè)備?！故聦?shí)上，早在去年，張曉強(qiáng)就曾公開(kāi)表示，他對(duì)High-NA EUV技術(shù)抱持肯定態(tài)度，但對(duì)其價(jià)格感到卻步。

相較之下，臺(tái)積電競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手英特爾，已經(jīng)計(jì)劃在未來(lái)制程「14A」當(dāng)中，使用High-NA EUV機(jī)臺(tái)，并且試圖藉此來(lái)振興晶圓代工事業(yè)，提升對(duì)臺(tái)積電的競(jìng)爭(zhēng)力。 然而，英特爾也強(qiáng)調(diào)，客戶仍然可以選擇使用舊款且經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù)。

阿斯麥執(zhí)行長(zhǎng)福凱特（Christophe Fouquet）日前在法說(shuō)會(huì)上提到，預(yù)計(jì)客戶將于2026年至2027年間進(jìn)行高NA設(shè)備的量產(chǎn)準(zhǔn)備測(cè)試，屆時(shí)業(yè)界才有可能考慮在最先進(jìn)的制程中全面導(dǎo)入。

目前，阿斯麥已向三家客戶交付總共5臺(tái)高NA設(shè)備，包括英特爾、臺(tái)積電以及韓國(guó)三星。 這機(jī)臺(tái)重達(dá)180噸、體積如同雙層巴士，堪稱全球最昂貴的半導(dǎo)體制造設(shè)備之一。