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臺積電公布N2 2nm缺陷率:比3/5/7nm都要好

  • 4月26日消息,在近日舉辦的北美技術(shù)論壇上,臺積電首次公開了N2 2nm工藝的缺陷率(D0)情況,比此前的7nm、5nm、3nm等歷代工藝都好的多。臺積電沒有給出具體數(shù)據(jù),只是比較了幾個工藝缺陷率隨時間變化的趨勢。臺積電N2首次引入了GAAFET全環(huán)繞晶體管,目前距離大規(guī)模量產(chǎn)還有2個季度,也就是要等到年底。N2試產(chǎn)近2個月來,缺陷率和同期的N5/N4差不多,還稍微低一點,同時顯著優(yōu)于N7/N6、N3/N3P。從試產(chǎn)到量產(chǎn)半年的時間周期內(nèi),N7/N6的綜合缺陷率是最高的,N3/N3P從量產(chǎn)開始就低得多了,
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AMD拿下臺積電2nm工藝首發(fā)

  • 4月15日,AMD宣布其新一代Zen 6 EPYC處理器「Venice」正式完成投片(tape out),成為業(yè)界首款采用臺積電2nm(N2)制程技術(shù)的高效能運算(HPC)處理器,預(yù)計將于明年上市。這也是AMD首次拿下臺積電最新制程工藝的首發(fā),而以往則都是由蘋果公司的芯片首發(fā)。N2是臺積電首個依賴于全環(huán)繞柵極晶體管(Gate All Around,GAA)的工藝技術(shù),預(yù)計與N3(3nm)相比,可將功耗降低24%至35%,或者在相同運行電壓下的性能提高15%,同時晶體管密度是N3的1.15倍,這些提升主要得
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N2 Purge在LPCVD爐管氮化硅工藝中的應(yīng)用

  • 在亞微米的生產(chǎn)制造技術(shù)中,氮化硅工藝的particle已經(jīng)成為產(chǎn)品良率的主要影響因素。本文主要針對立式LPCVD氮...
  • 關(guān)鍵字: N2  purge  氮化硅生產(chǎn)  Particle問題  
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