安徽一8寸半導體晶圓線，正式投產

在5月26日開幕的第七屆智能傳感器產業(yè)發(fā)展大會上，安徽華鑫微納集成電路有限公司發(fā)布：8英寸晶圓生產線首批產品成功串線，這標志著全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線在蚌正式投產。

安徽華鑫微納集成電路有限公司副總經理 丁敬秀：“今天我們8英寸生產線的第一個全流程產品，正式串線成功，它標志著我們這條產線的系統(tǒng) 設備、質量等等，都已經達到一個相對比較完善的水平。”

華鑫微納主要從事MEMS晶圓制造，可加工產品涵蓋慣性傳感器、壓力傳感器、光MEMS器件等，主要應用于高端裝備、汽車電子等領域。該項目是全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線、全國首條工藝設備配套齊全的壓電MEMS量產線。全部建成投產后，將具備月產3萬片晶圓的能力，成為國內產出最大的MEMS晶圓生產線。

8英寸MEMS晶圓生產線項目是國家集成電路生產力布局的重大項目，也是國家發(fā)改委、國資委、工信部、安徽省關注的重大工程項目，2024年被列入國家重點工程。