半導體設備：創(chuàng)新從實際出發(fā) 產品定位要準確

　　每一個半導體設備企業(yè)一定要根據(jù)自身產品的技術特點，集中研發(fā)適合于自身企業(yè)發(fā)展特點的半導體設備，才能逐步從根本上解決我國電子工業(yè)基礎落后的局面。

　　“摩爾定律”為半導體產業(yè)的發(fā)展提供了加速度，在整個產業(yè)飛速發(fā)展的同時，對其進行支撐的設備制造業(yè)也需要通過不斷創(chuàng)新、加快研究進程來滿足整個產業(yè)的需求。

　　設備創(chuàng)新帶動產業(yè)發(fā)展

　　半導體設備的發(fā)展本身就是技術創(chuàng)新的過程，IC產業(yè)的高速發(fā)展，其背后是以設備的創(chuàng)新和發(fā)展做支撐的，新的工藝技術總是用新一代設備實現(xiàn)的。

　　開發(fā)新產品適應市場的需求是每個企業(yè)必須考慮的問題，半導體設備企業(yè)也不例外。北京京聯(lián)發(fā)數(shù)控科技有限公司董事長秦建國表示，半導體設備創(chuàng)新可以為用戶提高生產能力和產品質量，降低產品成本。這樣的創(chuàng)新產品會給企業(yè)及用戶雙方帶來更好的效益。為了開發(fā)新的產品要不斷地吸收高科技人才，對該行業(yè)的產品生產要有充分的認識，對該行業(yè)的發(fā)展方向要不斷地了解情況，以便設備企業(yè)能跟上國內外半導體行業(yè)的快速發(fā)展，更快更好地為市場提供優(yōu)質的設備。

　　中電科技集團第四十五所技術工程部主任張續(xù)業(yè)告訴記者，國內從事半導體設備研發(fā)制造的企業(yè)如果沒有創(chuàng)新，面對國內外的大市場，就肯定沒有可持續(xù)發(fā)展的后勁，就不會有美好的明天和很好的經濟效益，更不會從根本上解決我國電子工業(yè)基礎落后的局面，就會永遠跟在國際先進技術后面無法超越。因此，每一個半導體設備企業(yè)一定要根據(jù)自身產品的技術特點，集中研發(fā)適合于自身企業(yè)發(fā)展特點的半導體設備，困難再大也要堅持下去，只有這樣，才能逐步從根本上解決我國電子工業(yè)基礎落后的局面。當然，在某些外部環(huán)境上還得尋求國家有關部委的政策性支持。

　　北京京運通科技有限公司副總經理王軍在接受記者采訪時表示，沒有創(chuàng)新就沒有生命力。我國半導體設備技術本身就落后于其他發(fā)達國家，所以企業(yè)創(chuàng)新能力也就是國家在該領域趕超其他國家的重要力量;其次，在技術飛速發(fā)展的信息社會，旺盛的創(chuàng)新能力是企業(yè)健康發(fā)展、產品滿足市場的重要因素。

　　設備商應緊密聯(lián)系用戶

　　半導體行業(yè)的技術更新很快，設備廠商必須與用戶緊密聯(lián)系、合作，才能急客戶之所急，才能不斷推出客戶需要的產品，并在使用中不斷完善提高。

　　張續(xù)業(yè)告訴記者，從45所幾十年的發(fā)展過程來看，雖然在樣機研發(fā)、基礎預研等方面填補了多項國家空白，為國家做出了相當大的貢獻,但要進入大生產線尚需一定的時間。主要原因是我國的基礎工業(yè)和配套能力與國外公司相比，差距太大，這是一個解決起來非常困難的系統(tǒng)工程，還需國內產業(yè)鏈上下端的企業(yè)共同做出艱辛努力，才能達到預期的目的。這是一條充滿艱辛的道路，但也是一條必由之路。

　　用戶對半導體設備的要求是提高自動化，提高設備的精度，把半導體設備制造得更好更完善需要更高的技術及資金，兩方面缺一不可。秦建國表示，目前市場上半導體設備的競爭越演越烈，不斷投入人力、財力、物力去研發(fā)新產品會使制造企業(yè)不斷發(fā)展和壯大。國內半導體設備生產企業(yè)應跟上市場的發(fā)展，不斷為市場提供高性能的設備，不斷研究半導體的發(fā)展方向，開發(fā)和研制新的設備，把企業(yè)制造的設備推向國際市場。

　　設備廠商必須具備工藝研究和實驗檢測的能力，而在國內傳統(tǒng)的研發(fā)體系下，引進與消化吸收是不同的主體，是完全割裂的，設備研制者不關注工藝研究，缺少或不具備必要的實驗檢測環(huán)節(jié)。沈陽芯源微電子設備有限公司總經理宗潤福表示，在這種情況下，國內設備要進入大生產線還要假以時日。他說，很多人意識到國內設備進入大生產線還需哪些努力時的第一反應可能是呼吁國家政策扶持、傾斜，用戶給機會。扶持傾斜也只能是針對首臺套，要批量生產并產業(yè)化必須具備市場競爭力。他主張循序漸進，技術跨度不能太大，穩(wěn)定壓倒一切。只有產品穩(wěn)定了，用戶才放心，對廠商才有信心，廠商才能有下一個機會、下一個訂單。

　　京運通副總經理王軍強調說，國產半導體設備進入大生產線需要很長的一個過程。首先產品技術要升級，我國的半導體設備技術無論自動化程度、精細化程度還是節(jié)能水平,都還很落后;其次是產品定位要準確，要對適合大多數(shù)生產需要的產品進行定位;最后是整合制造設備新工藝，形成基本上自動化的制造工藝。當然，完善相關標準的工作也要跟進。