C-V測量技術(shù)、技巧與陷阱——基于數(shù)字源表的準(zhǔn)靜態(tài)電容測

在準(zhǔn)靜態(tài)電容測量[1]中，我們通過測量電流和電荷來計算電容值。這種“斜率”方法使用簡單，但是它的頻率范圍有限（1～10Hz），因而只能用于一些特殊情況下。


SMU1-力常數(shù)SMU2-測量
圖3.準(zhǔn)靜態(tài)C-V“斜率”測量方法
斜率測量方法只需要使用兩臺數(shù)字源表（SMU）[2]。通過第一臺SMU將一個恒定電流加載到待測器件（DUT）的一個節(jié)點上。這臺SMU還負(fù)責(zé)測量該節(jié)點上的電壓和時間。同時，第二臺SMU測量DUT另一個節(jié)點輸出的電流。然后可以利用下列公式計算出電容：
I = C dV/dt or C = I / (dV/dt)

這種方法通?？捎糜跍y量大小為100～400pF斜率為0.1～1V/S的電容。

利用射頻技術(shù)[3]測量電容
傳輸線的電容測量通常采用射頻技術(shù)。其中利用矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀測量散射參數(shù)（S參數(shù)），即入射波的反射和傳輸系數(shù)。