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MEMS機油壓力傳感器可靠性研究

1 引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機電技術(shù)的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應(yīng)用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動機共軌壓力、機油壓力、歧管空氣進(jìn)氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動機油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動機機油壓力傳
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汽車MEMS傳感器應(yīng)用及發(fā)展

摘要：本文通過大量的文獻(xiàn)資料，評述汽車MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構(gòu)，同時對該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進(jìn)行了探討。關(guān)鍵詞：汽車傳感器、微機電系統(tǒng)、力敏器件。一、引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個方面，目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
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中國市場成傳感器發(fā)展沃土

　　車用傳感器是促進(jìn)汽車高檔化、電子化、自動化發(fā)展的關(guān)鍵件之一，世界各國都非常重視對車用傳感器的研究開發(fā)?，F(xiàn)在，“沒有傳感器技術(shù)，就沒有現(xiàn)代汽車”的觀點已被全世界業(yè)內(nèi)人士所公認(rèn)。　　傳感器市場急速膨脹　　據(jù)權(quán)威機構(gòu)預(yù)測，從2004年到2009年，全球車用傳感器將呈現(xiàn)9%左右的成長率，2008年市場需求量估計可達(dá)14.87億個。中國市場更是車用傳感器發(fā)展的溫床，計世資訊(CCWResearch)最新調(diào)查數(shù)據(jù)顯示，2006年，中國汽車傳感器的市場銷售額為3.9億美元，同比增長率
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新型傳感器研發(fā)呈現(xiàn)的五大特點

　　當(dāng)今世界發(fā)達(dá)國家對傳感器技術(shù)發(fā)展極為重視，視為涉及國家安全、經(jīng)濟發(fā)展和科技進(jìn)步的關(guān)鍵技術(shù)之一，將其列入國家科技發(fā)展戰(zhàn)略計劃之中。因此，近年來傳感技術(shù)迅速發(fā)展，傳感器新原理、新材料和新技術(shù)的研究更加深入、廣泛，傳感器新品種、新結(jié)構(gòu)、新應(yīng)用不斷涌現(xiàn)、層出不窮。　　微型化速度加快　　值得特別關(guān)注的是近年來隨著集成微電子機械加工技術(shù)的日趨成熟，傳感器制作技術(shù)進(jìn)入了一個展新階段。微電子技術(shù)和微機械技術(shù)相結(jié)合，器件結(jié)構(gòu)從二維到三維，實現(xiàn)進(jìn)一步微型化、微功耗，并研究把傳感器送入人體，進(jìn)入血管，研究稱分子的重
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汽車智商提高的背后傳感器的應(yīng)用與挑戰(zhàn)

許多年來，用于測量壓力、溫度和加速度等量值的傳感器一直是汽車電子的主角。但大量需要具備此類功能的系統(tǒng)，諸如燃油噴射控制、燃油經(jīng)濟性和安全系統(tǒng)(包括“智能”氣囊和胎壓監(jiān)測)，已經(jīng)超越在需要的地方安放一個傳感器并將感應(yīng)信號送回控制單元這樣一種水平。
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傳感器：與IC趨于集成MEMS遍及高端

汽車電子控制系統(tǒng)的“正常運轉(zhuǎn)”離不開傳感器的保駕護(hù)航，通過傳感器可將各種諸如壓力、流量、位置、高度、距離、速度、轉(zhuǎn)速、溫度等信號傳遞到動力系統(tǒng)、安全系統(tǒng)等控制單元，達(dá)到汽車正常駕駛的目的。
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不可見的傳感器正滲透到車輛控制領(lǐng)域

現(xiàn)代的汽車充滿了傳感器，提供各式各樣的信息，從發(fā)動機控制方面到乘客安全方面。傳感器技術(shù)正在不斷發(fā)展，使得傳感器更加易于設(shè)計，具備更高的可用性和更強的功能。
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汽車電子傳感器之輸入信號的調(diào)理

隨著傳感器的智能化，就可以調(diào)節(jié)信號的轉(zhuǎn)移特性，可以進(jìn)行自檢，而且可以在傳感器內(nèi)部進(jìn)行通信，這樣一來，傳感器就從一個無源器件變成了一個獨立的子系統(tǒng)。對于那些子系統(tǒng)來說，其通信規(guī)則由具體的應(yīng)用情況來定義，而與傳感元件無關(guān)。
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智能傳感器與現(xiàn)代汽車電子

現(xiàn)代汽車電子從所應(yīng)用的電子元器件到車內(nèi)電子系統(tǒng)的架構(gòu)均已進(jìn)入了一個有本質(zhì)性提高的新階段。其中最有代表性的核心器件之一就是智能傳感器。
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微型傳感器在汽車中的應(yīng)用

安全、舒適、無污染、經(jīng)濟性一直是汽車工業(yè)和用戶追求的目標(biāo)。實現(xiàn)這些目標(biāo)的關(guān)鍵在于汽車的電子化和智能化，先決條件則是各種信息的及時獲取，這勢必要求在汽車中大量采用各種傳感器。傳統(tǒng)的傳感器往往體積和重量大，成本高，它們在汽車的應(yīng)用受到很大的限制。
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意法半導(dǎo)體（ST）推出一系列工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的高精度數(shù)字溫度傳感器

　? 意法半導(dǎo)體推出一系列高精度數(shù)字輸出溫度傳感器。新系列產(chǎn)品特別適用于廣泛低功耗應(yīng)用的各種電子設(shè)備，溫度測量范圍從負(fù)55攝氏度到正125攝氏度。這個注重成本效益的STxx75系列產(chǎn)品可以直接替換而且軟件兼容工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的LM75、DS75和 TCN75A溫度傳感器芯片，同時還完善了ST現(xiàn)有的被用于多款手機內(nèi)的STLM20系列模擬溫度傳感器。　　采用標(biāo)準(zhǔn)的8引線TSSOP和SO-8封裝，新系列數(shù)字傳感器適用于設(shè)備控制應(yīng)用領(lǐng)域，例如：處理器通過I2C總線/ SMBus讀取一個精確的本機數(shù)字溫度數(shù)據(jù)
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傳感器可以直接插入通用串行總線接口(USB）

電容傳感技術(shù)可將信號處理和通信整合到單一包裝內(nèi)。根據(jù)制造商Loadstar Sensors公司(美國加州，Mountain View；www.loadstarsensors.com)表示，iLoad Digital USB傳感器是世界上首個帶USB輸出的電容負(fù)載傳感器。該傳感器可以直接插入個人電腦的USB端口，使用戶不需要任何附加的信號調(diào)理、數(shù)據(jù)采集或特殊軟件就可以測量負(fù)載、壓力或重力。
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二手設(shè)備為IC制造業(yè)提供機遇挑戰(zhàn)本土

　　近年來，全球12英寸集成電路生產(chǎn)線產(chǎn)能持續(xù)增長。據(jù)業(yè)內(nèi)專家透露，2007年全球12英寸生產(chǎn)線產(chǎn)能增長20%，而且在2008年還將維持增長的趨勢，DRAM、Flash等產(chǎn)品的生產(chǎn)將由8英寸生產(chǎn)線陸續(xù)轉(zhuǎn)至12英寸生產(chǎn)線。由此產(chǎn)生的直接后果是一部分8英寸生產(chǎn)線將面臨停產(chǎn)，專家預(yù)計有相當(dāng)數(shù)量的8英寸二手生產(chǎn)設(shè)備將向中國內(nèi)地轉(zhuǎn)移。在此大環(huán)境之下，中國的IC制造企業(yè)能否把握機遇，趁勢以較低的成本迅速擴大產(chǎn)能?而中國的設(shè)備制造企業(yè)又能否直面海外二手設(shè)備的挑戰(zhàn)，在競爭中不斷壯大自己? 　　二手設(shè)備為IC制造業(yè)提供機
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專家點評：模擬半導(dǎo)體市場將何去何從？

　　繼2007年表現(xiàn)平平之后，模擬半導(dǎo)體市場今年有望反彈。但預(yù)計不是所有的模擬廠商都能從中受益。有些廠商面臨需求不振，有些又遭遇產(chǎn)能短缺。有人擔(dān)心韓國手機廠商模擬器件庫存過剩。　　市場調(diào)研公司AmericanTechnologyResearchInc.(ATR)最近降低了對凌力爾特公司、美信集成產(chǎn)品公司和MicrelSemiconductorInc.的季度業(yè)績預(yù)測?！安糠謴S商通過面向PC和消費終端市場，有可能超過總體模擬半導(dǎo)體市場的增長水平，”ATR的分析師DougFreedm
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LEM：傳感未來創(chuàng)新無限

隨著電力電子行業(yè)的快速發(fā)展，傳感器技術(shù)的應(yīng)用日趨廣泛。作為安裝在系統(tǒng)內(nèi)部的核心部件，電量傳感器對系統(tǒng)和設(shè)備的性能與安全作用日益凸顯。在傳感器殿堂中，源自瑞士的萊姆電子（LEM）不僅是電量傳感器的知名制造者，也是電量傳感器領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)者。傳統(tǒng)傳感器向ASIC發(fā)展電力電子技術(shù)已經(jīng)從少數(shù)專用市場分別朝著橫向和縱向不斷延伸，這就要求電力電子產(chǎn)品擁有更高的功率密度和可靠性、更小的體積，以及向低成本、標(biāo)準(zhǔn)化和模塊化發(fā)展，并適合大批量生產(chǎn)。目前用于通用市場（小功率變頻器、變頻家電、電源等）的電流/電壓傳感器的設(shè)計
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