新國標推動潔凈技術邁上新臺階

　　電子產(chǎn)品不僅對生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈程度有嚴格要求，而且還對與生產(chǎn)過程直接接觸的各種高純介質(zhì)——— 高純水、高純氣體、高純化學品等的雜質(zhì)含量等有十分嚴格的要求。某些電子產(chǎn)品對振動、靜電、電磁干擾、電力供應等也有較為嚴格的要求。為此，電子工業(yè)潔凈廠房一般配備下列設施，如凈化空調(diào)系統(tǒng)、專用凈化設備、噪聲控制設備、防微振設備、防靜電設備、防電磁干擾設備、電氣、照明、高純物質(zhì)(高純水、高純氣、高純化學品)供應設備、報警系統(tǒng)、節(jié)能設施以及通信設施等。微電子產(chǎn)品的微細化，要求供應純度極高的氣體、化學品和純水。目前納米級集成電路芯片生產(chǎn)要求氣體中雜質(zhì)的濃度要控制到19-9級或10-12級，要求超純水的電阻率為18MΩ·cm，雜質(zhì)濃度為19-9級或10-12級。

　　新國標推動潔凈技術上臺階

　　基于上述電子工業(yè)潔凈廠房的特點，現(xiàn)有國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50073)中的有關規(guī)定已不能滿足需要，尤其是涉及化學分子污染物的控制以及安全、消防等方面的規(guī)定(如潔凈建筑防火與疏散、易燃易爆氣體和化學品的貯存輸送、安全消防報警設施等)。由國家住房和城鄉(xiāng)建設部和國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局聯(lián)合發(fā)布，并從2009年7月1日實施的國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50472)，正是以現(xiàn)代電子工業(yè)潔凈廠房的特點和工程實踐為依據(jù)，結合我國電子工業(yè)潔凈廠房設計建造和運行的實際情況，廣泛調(diào)研、整理相關的專題報告和測試資料，認真總結多年來電子工業(yè)潔凈廠房設計建造和運行方面的經(jīng)驗，廣泛征求了國內(nèi)有關單位的意見制定而成的。國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50472)共分15章和4個附錄。主要內(nèi)容有：總則、術語、電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境設計要求、總體設計、工藝設計、潔凈室建筑設計、空氣凈化和空調(diào)通風設計、給水排水設計、純水供應、氣體供應、化學品供應、電氣設計、防靜電與接地設計、噪聲控制以及微振控制等。該規(guī)范是強制性標準，其中設有強制性條文近50條，在規(guī)范中黑體字的條文為強制性條文，必須嚴格執(zhí)行。

　　所有進行電子工業(yè)潔凈廠房設計建造的單位和相關科技人員都應認真執(zhí)行、實施規(guī)范中的強制條文。與此同時，推薦性條文的各項規(guī)定使電子工業(yè)潔凈廠房的設計、建造有法可依，有章可循。我們希望通過認真執(zhí)行、實施國家標準《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》(GB50472)，使我國電子工業(yè)潔凈廠房的設計建造達到更高的水平。同時，我們也希望在新國標實施中得到各有關單位、科技人員的修改和補充意見，使之不斷完善。