本土MEMS制造需面向應用，建立平臺

　　應用材料公司全球服務產品事業(yè)部200毫米半導體及動力輔助設備副總裁原錚博士：從全球來看，2014年到2015年的增長勢頭非常好，但是亞洲地區(qū)的發(fā)展更明顯，尤其是中國大陸和中國臺灣地區(qū)。

　　應用材料公司全球服務產品事業(yè)部設備產品部門200 毫米半導體及動力輔助設備副總裁原錚博士

　　成本控制是MEMS制造的主旋律

　　200毫米還是300毫米?300毫米MEMS制程還是起步階段。一些客戶反映，究竟用300還是200毫米，實際不是技術問題，而是現實成本考慮的問題。

　　MEMS集成一般是不同工藝層的疊加。從制造角度看，MEMS本身就是一種特殊的工藝，可以和芯片(die)組合在一起，在制造或封裝階段都可以集成在一起。但是很少有直接在前工序制造就做在一起的，因為前工序制造難度較大，而且也沒必要，主要是成本方面的考慮。

　　另外，應用材料公司這幾年發(fā)展比較快的一個因素，除了市場發(fā)展比較快，還有就是市場有一個轉變：在第一波MEMS發(fā)展過程中，主要靠工藝驅動;現在很多新材料包括PSO壓電材料采用，這些部分是應用材料公司的強項，因為應用材料公司的核心技術是材料工程。

　　本土MEMS傳感器公司越來越多

　　本土MEMS傳感器企業(yè)越來越多。但是世界MEMS領軍企業(yè)還是以歐美的幾大廠商為主。MEMS之所以在歐美可以持續(xù)很長時間，一是因為MEMS傳感器需要漫長的打基礎時間，另外企業(yè)需要有遠見，并堅持去實現。

　　中國MEMS傳感器企業(yè)的機會是相當多的，因為市場和需求都在中國。還有很多中國特殊的興趣點，例如PM2.5在中國很敏感，但是很多美國人不知道。

　　中國MEMS企業(yè)自己要創(chuàng)造一個平臺，提升技術，而不是搞價格戰(zhàn)。同時做滿足本土應用的傳感器。中國人口眾多，物聯(lián)網市場的多樣性、可變性就很多。而且以應用為導向的產品是中國的強項，但是沒有一個基本的技術平臺就顯得水平較低了，如果估值都不準確也不行，像PM2.5感測一樣。

　　同時必須要要有遠見，因為國內有一些政府投資的企業(yè)的審批時間較長。例如一家客戶從提交給政府方案到現在已經三年了，三年這個世界已經變化很多，例如到底上6英寸還是上8英寸?當年我們就告訴客戶要上8英寸，因為現在人們都考慮12英寸了。

　　中國傳感器企業(yè)做時，先有一些創(chuàng)意，而不是“大就是好的”。做MEMS還是要想深入一點，每一步都要有規(guī)劃。

　　MEMS制造技術

　　誰也不要小看彼此。MEMS傳感器市場很大，足夠容納IDM(集成器件制造商)和Foundry(代工廠)。不過，如果傳感器領域到了數千億級別時，還是要有比較統(tǒng)一的設計平臺。

　　未來三到五年，先進工藝和成熟工藝哪個在中國的停留空間更長一些?先進工藝還是會繼續(xù)往前走，今后三到五年沒有問題，但是隨著物聯(lián)網的發(fā)展，人們越來越清晰地理解到底是什么，也開發(fā)出不同的應用，這些遺留的300毫米和遺留的200毫米應用會和現在有很大的區(qū)別。尤其像用到40納米和50、90納米這部分，怎么用到物聯(lián)網，我覺得這部分會有比較多的開發(fā)。就像200毫米一開始的時候，最早200毫米是主流?，F在有一些設備可能不會有競爭力了，又轉到制造功率器件，有一些可能功率器件也沒有競爭力了，還可以繼續(xù)轉到MEMS制造。

　　因為對于技術理解的需求，以及物聯(lián)網的需求，所以以應用導向的這部分我覺得空間是很大的。