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Fourier變換輪廓術中參數(shù)的選擇和優(yōu)化研究

作者: 時間:2009-04-24 來源:網(wǎng)絡 收藏

引入物面傾面將式(3)代入后有:

本文引用地址:http://www.2s4d.com/article/195897.htm


由式(4)可知,當減小夾角θ時,tgθ亦減小,fn得到壓縮,而等效波長λc卻增大,所以頻譜的壓縮是以系統(tǒng)測量精度的降低為代價的。
壓縮夾角θ,使基頻同零頻和高頻完全分離,須滿足條件:


式中,fb為零頻最大值。解得各次譜完全分離時夾角θ所必須滿足的條件為:


必須對(f0-fb)/f0與1/3進行比較,以決定θ的選擇。不考慮零頻的影響,假設各次頻譜完全分離時的夾角為θc,則θc由下式確定:



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