視頻 | 揭秘：1.2億美元光刻機(jī)內(nèi)部視頻曝光,像科幻片一樣震撼!

在這臺(tái)光刻機(jī)中，每秒在真空環(huán)境中，從底部容器流出5萬滴融化的錫液，一對(duì)激光束照射每一滴液體產(chǎn)生等離子體，釋放出更短的波長(zhǎng)，超高精度的反射鏡引導(dǎo)光線....7納米極紫外線光刻機(jī)，分為13個(gè)系統(tǒng)，3萬個(gè)分件，作動(dòng)時(shí)每一分都要精

每臺(tái)光刻機(jī)的裝配大約需要50000個(gè)零件左右，像德國(guó)蔡司的光學(xué)設(shè)備，美國(guó)Cymer的光源都是阿斯麥的上游供應(yīng)商。阿斯麥創(chuàng)立于1984年，是從飛利浦獨(dú)立出來的一個(gè)半導(dǎo)體設(shè)備制造商，，總部位于荷蘭費(fèi)爾德霍芬。