全球ATE設(shè)備進入雙寡頭格局,中國大陸廠商趁勢崛起
自動化測試設(shè)備(ATE,Automatic Test Equipment)是一種通過計算機控制進行器件、電路板和子系統(tǒng)等測試的設(shè)備。通過計算機編程取代人工勞動,自動化的完成測試序列。自動化測試設(shè)備(ATE)已是全球半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)之中的重要組成部分。
自動化測試設(shè)備(ATE)的應(yīng)用場合涵蓋集成電路整個產(chǎn)業(yè)鏈,主要包括了芯片的設(shè)計驗證、晶圓制造相關(guān)的測試到封裝完成后的最終成品測試。
自動化測試設(shè)備(ATE)從1960年代發(fā)展至今,已經(jīng)形成泰瑞達(Teradyne)與愛德萬測試(Advantest)的雙寡頭格局,合計占有全球近90%以上的市場。
在SoC測試系統(tǒng)與存儲器測試系統(tǒng)方面,泰瑞達與愛德萬各具優(yōu)勢。中國企業(yè)開始發(fā)力。
然而在模擬測試系統(tǒng)方面,中國廠商華峰測控(AccoTest)經(jīng)過多年研發(fā)和布局,已經(jīng)取得了不俗的市場份額,產(chǎn)品不僅在國內(nèi)大批量安裝,而且已經(jīng)進入美國、歐洲、日本市場,獲得多家頂級IDM公司內(nèi)采購,并成為頂級代工公司的指定采購產(chǎn)品。
廣立微(Semitronix)十年磨一劍,研制出快速電學(xué)參數(shù)測試機Semitronix Tester,為客戶提供準(zhǔn)確且高度自動化的測試解決方案用于快速和更好地監(jiān)控工藝。目前已經(jīng)進入國際頂級IDM公司量產(chǎn)線。
在自動化測試設(shè)備(ATE)60年的發(fā)展史上,出現(xiàn)了一批經(jīng)典機臺。比如,數(shù)字測試機中經(jīng)典的有1980年代的Fairchild S10,1990年代的credence sc212,2000年代的Teradyne J750;模擬混合測試機,1980年代的Teradyne A360,LTX77,1990年代的Teradyne A500系列、Shibasuko WL22、TMT的ASL1000,2000年代的ETS364、AccoTEST STS8200;SoC測試機有P安捷倫V93000,Ultra Flex和Advantest T2000;存儲方面,經(jīng)典的DRAM測試機Advantest T5581,經(jīng)典的Flash測試機Nextest Magum,Verigy Vesatest V66xx系列。
但是早期的半導(dǎo)體測試設(shè)備發(fā)展并不完全是由獨立的設(shè)備商引導(dǎo),而是由半導(dǎo)體制造公司主導(dǎo)的。仙童半導(dǎo)體(Fairchild )、德州儀器(TI)等制造企業(yè)生產(chǎn)ATE用于內(nèi)部使用。據(jù)悉在20世紀(jì)70年代末,仙童半導(dǎo)體(Fairchild )掌握全球范圍70%的ATE市場。
2019年2月,芯思想公眾號推出《全球ATE設(shè)備發(fā)展簡史》,受到業(yè)界人士的關(guān)注,熱心的朋友提出了許多指正。為北,再次推出《全球ATE設(shè)備發(fā)展簡史》更新版。
1960年代:自動測試設(shè)備(ATE)初創(chuàng)期
1960年,Alex d'Arbeloff和Nick DeWolf聯(lián)合創(chuàng)辦泰瑞達(Teradyne)。
1965年,仙童半導(dǎo)體(Fairchild)自動化測試部門成立,推出5000C(模擬器件測試)和Sentry 200(數(shù)字電路測試),5000C和Sentry 200都由自主開發(fā)的24位、10MHz計算機FST2進行控制。
1966年,泰瑞達(Teradyne)推出第一款配備小型計算機的集成電路測試儀J259。
1965年,Everett Charles Technologies(ECT)成立,從事電路板測試。
1966年,安藤電機(Ando Electric)進入半導(dǎo)體測試市場。公司成立于1933年。
1968年,武田理研工業(yè)(Takeda Riken Industries)進入半導(dǎo)體測試市場。公司創(chuàng)辦于1954年,初期是一家電子測量儀器制造商。
1969年,Teradyne 在收購Triangle Systems后建立Teradyne Dynamic Systems。
1970年代:發(fā)展期
1970年9月,Shiba Electric Co.,Ltd.名稱改為芝測(ShibaSoku Co.,Ltd.),憑借公司在音視頻測試方面的技術(shù)積累,切入模擬IC測試市場。Shiba Electric Co.,Ltd .成立于1955年9月7日,初期以音頻測試設(shè)備為主,經(jīng)歷過電視機用測試設(shè)備,通信用測試設(shè)備。
1971年,武田理研工業(yè)(Takeda Riken Industries)推出了LSI測試系統(tǒng)T-320/10。
1973年,武田理研工業(yè)(Takeda Riken Industries)推出了10MHz的LSI測試系統(tǒng)T-320/20。
1973年,安藤電機(Ando Electric)開發(fā)完成內(nèi)存測試機臺 DIC-7070。
1974年,芝測(ShibaSoku Co.,Ltd.)推出日本第一臺模擬IC測試機LT 303,后來演變?yōu)?/span>WL11(1980)、WL8000(1982)、WL25。
1975年,General Radio Company更名GenRad,在仙童半導(dǎo)體(Fairchild)的離職工程師的支持下,推出數(shù)字測試系統(tǒng)R16/R18,進入半導(dǎo)體ATE設(shè)備市場。General Radio Company成立于1915年,初期主營電子儀器測試設(shè)備。
1975年,Megatest成立,研發(fā)邏輯測試設(shè)備,是英特爾微處理器8080等型號測試設(shè)備供應(yīng)商。
1976年,武田理研工業(yè)(Takeda Riken Industries)推出全球首個DRAM測試機臺T310/31,很快在市場上取得了成功。
1976年,泰瑞達(Teradyne)員工Graham Miller和Roger Blethen離職創(chuàng)辦了LTX。
1976年,通用電氣(General Electric)電子測試設(shè)備的研究員和設(shè)計師Luciano Bonaria在意大利都靈創(chuàng)辦了SPEA,用于電子和自動化系統(tǒng)測試。
1976年,Len Foxman創(chuàng)辦Eagle Test Systems,開始提供測試解決方案。
1977年,Spandnix進入ATE市場,開始制造模擬IC測試系統(tǒng)。公司成立于1970年11月12日,初期銷售電子零件和制造測量設(shè)備。
1977年,LTX推出首款模擬測試平臺LTX77。
1978年,GenRad員工離職創(chuàng)辦Trillium Test System。
1979年,斯倫貝謝(Schlumberger)收購Fairchild Camera and Instrument,包括仙童半導(dǎo)體(Fairchild)及測試系統(tǒng)部門。
1979年,武田理研工業(yè)(Takeda Riken Industries)推出測試速度達到100MHz的機臺T-3380(非存儲測試設(shè)備)和T-3370(存儲測試設(shè)備)。
1979年,Test Systems Strategies Inc.(TSSI)成立,專注設(shè)計測試軟件解決方案提供,服務(wù)于矢量轉(zhuǎn)換和模式驗證市場;其主要貢獻是波形生成語言(WGL,Waveform Generation Language)的發(fā)明。
1979 年,泰瑞達(Teradyne)發(fā)布A300 Analog LSI測試系統(tǒng),同年營業(yè)額突破1億美金大關(guān);同年并開始在中國拓展業(yè)務(wù)。
1970年代末,仙童半導(dǎo)體(Fairchild)的ATE設(shè)備占有全球70%的市場。
1980年代:進入VLSI時代,產(chǎn)業(yè)并購開始
1980年,武田理研工業(yè)(Takeda Riken Industries)推出T-3331,公司形成一套測試速度完備的存儲器測試機系列產(chǎn)品。
1980年,斯倫貝謝(Schlumberger)在收購Fairchild后,推出數(shù)字測試系統(tǒng)S10,成為1980年代的暢銷產(chǎn)機型。
1981年,泰瑞達(Teradyne)發(fā)布第一款超大規(guī)模集成電路不停機測試系統(tǒng)J941;1982年J941贏得英特爾公司100萬美元的合同,英特爾對泰瑞達和J941投下了信任票。
1981年10月26日,英特爾(Intel)離職工程師成立Versatest, Inc.,專注Flash Memory測試系統(tǒng)。
1982年,橫河(Yokogawa)進入半導(dǎo)體測試市場。
1982年,GenRad在仙童半導(dǎo)體(Fairchild)的離職工程師的支持下,推出數(shù)字測試系統(tǒng)R16,進入半導(dǎo)體ATE設(shè)備市場。
1982年10月,仙童半導(dǎo)體(Fairchild )將自動化測試部門分拆成立仙童測試系統(tǒng)(Fairchild Test Systems)。
1982年,David Mees創(chuàng)辦Semiconductor Test Solutions(STS),進入半導(dǎo)體測試領(lǐng)域,當(dāng)時STS的策略是針對一些中小ASIC公司提供服務(wù)。
1982年,芝測(ShibaSoku Co.,Ltd.)推出WL8000模擬LSI測試系統(tǒng),作為WL11的高端測試機臺。
1983年,Aehr Test Systems成立,從燒錄設(shè)備起家。
1983年國家"六五科技攻關(guān)"項目正式起動國產(chǎn)ATE 測試系統(tǒng)研制。該項目于1988年通過電子部組織的國家鑒定,并獲電子部一等獎。
1984年,由電子工業(yè)部發(fā)起成立,經(jīng)國家科委批準(zhǔn)成立“大規(guī)模集成電路測試技術(shù)研究所”,簡稱“大測所” 。
1985年,GenRad推出數(shù)字測試系統(tǒng)R18,成為市場暢銷機臺。
1985年,武田理研工業(yè)(Takeda Riken Industries)更名愛德萬測試(Advantest),同年推出Megaone系列。
1985年,Semiconductor Test Solutions(STS)推出了STS 6000系列測試系統(tǒng),服務(wù)于超大規(guī)模集成(VLSI)和大規(guī)模集成(LSI)芯片。
1985年,Trillium Test System總裁被害;LTX收購Trillium Test System。
1986年,仙童測試系統(tǒng)(Fairchild Test Systems)更名斯倫貝謝測試系統(tǒng)(Schlumberger Test Systems)。
1986年,“大規(guī)模集成電路測試技術(shù)研究所”劃歸北京市領(lǐng)導(dǎo),改名“北京自動測試技術(shù)研究所”。
1986年,泰瑞達(Teradyne)推出了第一款模擬VLSI測試系統(tǒng)A500。
1986年,EPRO成立,專注存儲測試。
1986年,中國科學(xué)院計算技術(shù)研究所研制成功ICT-2LSI/VISI綜合測試系統(tǒng),功能測試速率10MHz/20MHz,通道數(shù)48(128),OTA(系統(tǒng)總定時精度)±2ns。
1987年,北京自動測試技術(shù)研究所研制成功BC3170存儲器測試系統(tǒng),功能測試速率20MHz,通道數(shù)32個。
1987年,INNOTECH成立,后由貿(mào)易公司轉(zhuǎn)型,提供NAND和CMOS圖像傳感器測試機臺 。
1987年,Semiconductor Test Solutions(STS)發(fā)布了STS 8000系列測試系統(tǒng),并獲得美國國防部和美國商務(wù)部的許可,將其系統(tǒng)運往中國。
1988年,SPEA為蘇聯(lián)半導(dǎo)體制造廠制造了一臺采用水冷(water cooled)的芯片測試設(shè)備Comptest MX 500。
1988年8月5日,國產(chǎn)ATE 測試系統(tǒng)主要研發(fā)團隊組建北京科力新技術(shù)發(fā)展總公司,同年推出基于ECL技術(shù)的20mhz存儲器測試系統(tǒng)。
1988年,Semiconductor Test Solutions(STS)收購Axiom Technology,強化混合信號(Mixed Signal)測試。
1988年,Spandnix推出緊湊型線性IC測試儀SX-1300,1990年代一度是臺灣裝機量最大的模擬器件測試平臺。
1989年,Semiconductor Test Solutions(STS)收購了ASIX Systems,更名ASIX-STS。
1990年代:SoC測試系統(tǒng)來臨
1990年,ASIX-STS更名科利登(Credence Systems Corp.)。
1991年,科利登(Credence)收購泰克(Tektronix)的半導(dǎo)體測試系統(tǒng)部門,科利登籍此進入高端測試系統(tǒng)市場。
1991年,科力公司推出基于TTL/CMOS可編程陣列的12.5MHz數(shù)字測試系統(tǒng)3160A,并正式商業(yè)銷售。
1991年,TMT, Inc.成立,專注模擬IC測試,主力機型是ASL系列產(chǎn)品,包括ASL1000。
1991年,愛德萬測試(Advantest)推出J971。
1992年,德國Klaus Christian Penner家族成立SZ Testsysteme,公司具有獨特的模擬測試技術(shù)。
1992年,愛德萬測試(Advantest)推出當(dāng)時業(yè)界最高分辨率的LCD驅(qū)動器測試系統(tǒng)G4350(用于研發(fā))和G4310(用于批量生產(chǎn)),進入LCD測試市場。
1992年,科利登(Credence)推出了Vista和數(shù)字測試系統(tǒng)SC212;SC212成為1990年代的暢銷機型。
1992年,芝測(ShibaSoku Co.,Ltd.)推出WL93/WL22模擬LSI測試系統(tǒng),該系統(tǒng)采用了新的架構(gòu),縮短了器件的測量時間,曾經(jīng)一度占據(jù)日本模擬測試市場的90%。
1993年,愛德萬測試(Advantest)推出測試速度高達500MHz/1GHz的VLSI測試系統(tǒng) 。
1993年,惠普(HP)推出HP 83000系統(tǒng),進入數(shù)字式集成電路產(chǎn)品測試市場。
1993年,科力公司推出基于CPLD和AMD位片式CPU技術(shù)的20MHz的隨機圖形/算法圖形的數(shù)字測試系統(tǒng)SP3160-D。
1993年2月1日,北京華峰測控技術(shù)有限公司成立,專注于半導(dǎo)體元器件測試篩選設(shè)備和專用智能化測試系統(tǒng)的研制。
1994年,Test Systems Strategies Inc.(TSSI)和See Technologies合并,組建了Summit Design。
1995年,SPEA進入了處理器測試領(lǐng)域,首個訂單來自Swatch集團,用于測試手表芯片。
1995年,科利登(Credence)收購內(nèi)存測試設(shè)備供應(yīng)商EPRO,迅速進入非易失性存儲器市場。
1995年,科力公司推出數(shù)?;旌蠝y試系統(tǒng),該系統(tǒng)含+/-40v浮動程控電源/PMU、通用運放包、電源管理器件測試包、AD/DA測試包、54/74/40xx/8xxx測試程序庫。
1995年,Lev Alperovich和David Oka、Tom Farkas創(chuàng)辦StepTech, Inc.,公司具有獨特的射頻RF測試技術(shù),為無線、汽車、電源、消費類IC提供射頻ATE設(shè)備。(Lev Alperovich是Axiom Technology的創(chuàng)始人)
1996年1月,泰瑞達(Teradyne)收購Megatest,強化公司的存儲測試產(chǎn)品線。
1996年,泰瑞達(Teradyne)推出Marlin存儲測試系統(tǒng),這是第一個能夠同時進行DRAM測試和冗余分析的系統(tǒng)。
1996年,北京自動測試技術(shù)研究所、國營光華無線電儀器廠、中國科學(xué)院計算技術(shù)研究所聯(lián)合研制成功3190數(shù)字集成電路大型測試系統(tǒng),測試速率40MHz,通道數(shù)64個,定時精度±750ps。
1997年,科利登(Credence)收購Summit Design旗下子公司Test Systems Strategies Inc.(TSSI)。
1997年,泰瑞達(Teradyne)推出了第一個具有實時轉(zhuǎn)換能力的結(jié)構(gòu)到功能測試系統(tǒng)J973。
1997年,原Megatest團隊從泰瑞達(Teradyne)離職創(chuàng)辦Nextest Systems,提供低成本的Flash和SoC測試系統(tǒng),其Mangum系統(tǒng)是Sandisk的首選測試平臺。
1997年,科利登(Credence)收購Zycad的TDX系列故障和測試產(chǎn)品線。
1997年,泰瑞達(Teradyne)推出了首款片上系統(tǒng)(SoC)測試系統(tǒng)Catalyst。
1997年,惠普(HP)收購Versatest, Inc.。Versatest是存儲芯片測試設(shè)備提供商,其V66XX系列曾是Flash存儲測試機的暢銷產(chǎn)品,可惜在愛德萬測試(Advantest)收購惠瑞捷(Verigy)后,V66XX系列被停止了。
1998年,科力公司推出程控交換機專用IC測試系統(tǒng)。
1998年,泰瑞達(Teradyne)推出了一種用于低成本設(shè)備大批量測試的測試解決方案Integra J750。這是一款經(jīng)典產(chǎn)品,是一款性價比高的MCU測試平臺,直到今天J750還在熱賣中(20年來,J750的測試速度從100M增加到800M,測試通道從512增加到2048,并增加了并行測試,背景運算等新功能)。
1998年,惠普(HP)推出HP 95000 HSM 型高速存儲測試系統(tǒng)可用于DRAM的大量生產(chǎn)性測試。速率高達800MHz,為DRAM制造商提供最小的占用空間、最低測試成本和最低風(fēng)險的測試方案。
1998年6月8日,科利登(Credence)收購HPL Inc.存儲測試資產(chǎn),強化公司在存儲測試領(lǐng)域的實力;同年推出Flash測試平臺Kalos,在臺灣市場取得相當(dāng)?shù)姆蓊~。
1999年11月1日,安捷倫(Agilent)承襲全部惠普測試測量業(yè)務(wù)獨立上市,同年推出V93000平臺,平臺功能強大,可測試用于各種終端產(chǎn)品(從數(shù)字電視到無線通信設(shè)備)的片上系統(tǒng)(SOC)和系統(tǒng)級封裝(SiP)器件。
1999年,愛德萬測試(Advantest)推出ITS9000。
2000年代:四強爭霸
泰瑞達(Teradyne)、愛德萬測試(Advantest)、科利登(Credence)、安捷倫(Agilent)/惠瑞捷(Verigy)四強爭霸。
2000年,愛德萬測試(Advantest)收購原東芝旗下的測試設(shè)備部門Asia。
1992年,芝測(ShibaSoku Co.,Ltd.)推出WL25模擬LSI測試系統(tǒng),滿足高功率器件測試需求。
2000年,泰瑞達(Teradyne)推出新一代圖像傳感器測試系統(tǒng)IP-750。
2000年,科利登(Credence)收購TMT, Inc.,獲得ASL系列RF測試系統(tǒng)。
2001年,科利登(Credence)收購專門為ATE市場提供接口解決方案商Dimensions Consulting Inc.,完善公司在非易失性存儲器市場的能力。
2001年,泰瑞達(Teradyne)收購GenRad電路板測試業(yè)務(wù)。
2001 年,泰瑞達(Teradyne)在上海成立中國總公司,隨后在北京、深圳、蘇州、天津和無錫等地設(shè)立辦事處。
2002年,斯倫貝謝測試系統(tǒng)(Schlumberger Test Systems)分拆成立恩浦科技(NPTest)。
2002年,專業(yè)測試商京元電子(KYEC)開始研發(fā)自制機臺,先期從邏輯測試開始發(fā)展自制機臺測試解決方案,推出E200機型,獲得重要客戶們的認(rèn)可并實際成功導(dǎo)入量產(chǎn)。
2002年10月1日,橫河(Yokogawa)擁有安藤電機(Ando Electric)的100%股份,擁有內(nèi)存測試、模擬測試和LCD驅(qū)動測試。(2001年收購NEC持有Ando的33%股份)
2003年1月2日,科利登(Credence)收購SZ Testsystem,更名Credence Systems GmbH。SZ Testsystem具有獨特的模擬測試技術(shù),公司為模擬、電力、汽車和通信市場提供ATE產(chǎn)品。
2003年,科利登(Credence)收購Optonics公司,憑借Optonics的發(fā)散型光學(xué)診斷和故障分析技術(shù),業(yè)務(wù)擴展到硅片測試、器件特征測試和故障分析領(lǐng)域。
2003年,科力公司推出量產(chǎn)型模擬測試系統(tǒng)SP3196,2005年在天水華天大量裝機。
2003年,科利登(Credence)在中國上海市設(shè)立辦公室,這是進入中國市場的一項關(guān)鍵戰(zhàn)略。
2003年6月,Francisco Partners從斯倫貝謝(Schlumberger)收購恩浦科技(NPTest)。
2003年6月10日,LXT收收購StepTech, Inc.的82%的股份(2000年10月LXT戰(zhàn)略投資StepTech, Inc.,持有18%的股份)。
2003年8月,恩浦科技(NPTest)和北京微電子技術(shù)研究所聯(lián)合宣布建立高端CPU/SOC測試戰(zhàn)略合作伙伴關(guān)系,EXA3000超大規(guī)模集成電路測試系統(tǒng)首次進入中國。
2004年5月28日,科利登(Credence)完成收購恩浦科技(NPTest),進入高端SOC測試領(lǐng)域。
2004年,泰瑞達(Teradyne)推出了FLEX系列測試系統(tǒng),為大批量、高混合、復(fù)雜的SoC器件提供測試靈活性。
2004年,安捷倫(Agilent)推出Versatest V4000系統(tǒng),提供100MHZ的測試性能和獨立的64條I/O通道,保證其應(yīng)用程序全面兼容所有Versatest系列產(chǎn)品利益于兼容能力,在v4000上開發(fā)的測試程序可以直接轉(zhuǎn)移到用于量產(chǎn)的其他Versatest基臺上,提供從工程到量產(chǎn)的關(guān)聯(lián)性及可重復(fù)性。
2004年,科力公司應(yīng)國防單位要求推出液氮制冷的紅外CCD傳感器測試系統(tǒng)。
2005年,科力公司推出分立器件測試系統(tǒng)、繼電器和DC/DC測試系統(tǒng)。
2005年3月,北京華峰測控技術(shù)有限公司推出第一臺半導(dǎo)體IC量產(chǎn)設(shè)備,并接獲第一臺設(shè)備訂單。
2005年,Test Systems Strategies Inc.(TSSI)再次成為獨立公司,專注測試程序軟件開發(fā)。TSSI當(dāng)年開發(fā)和波形生成語言(WGL)已成為國際標(biāo)準(zhǔn),目前支持下一代的標(biāo)準(zhǔn)語言STIL (標(biāo)準(zhǔn)測試接口語言,Standard Test Interface Language)。
2005年,橫河(Yokogawa)推出存儲器測試系統(tǒng)MT6121,可以在機臺的兩個測試頭上在不同的周期同時測試不同的存儲器件產(chǎn)品,體現(xiàn)了兩個不同的測試臺共存于一個測試系統(tǒng)(TWO in ONE)的理念。
2006年6月1日,惠瑞捷(Verigy)正式運營,承接原安捷倫半導(dǎo)體測試(Agilent STS)事業(yè)群,包括系統(tǒng)單芯片(SOC)和系統(tǒng)級封裝(SIP)以及內(nèi)存測試等業(yè)務(wù)。
2006年,科力公司推出PerPin架構(gòu)的50mhz數(shù)字測試系統(tǒng),最大通道數(shù)256個。
2007年,SPEA推出全球第一臺用于處理和測試慣性MEMS微傳感器的測試設(shè)備。
2007年3月28日,泰瑞達(Teradyne)完成收購MOSAID Technologies的存儲測試資產(chǎn)和專利。
2007年6月23日,惠瑞捷(Verigy)推出V93000 Port Scale射頻測試系統(tǒng)。
2007年9月,英特矽爾(Intersil)收購Planet ATE Inc.,這是一家專為ATE測試設(shè)備提供芯片的公司。
2007年10月,專業(yè)測試商京元電子(KYEC)推出CMOS影像傳感器(CIS)芯片自制測試機臺I1000和功率器件測試機型E320-P。
2007年12月6日,惠瑞捷(Verigy)收購Inovys,Inovys為復(fù)雜的半導(dǎo)體器件和工藝提供設(shè)計調(diào)試,故障分析和良率加速。
2008年1月24日,泰瑞達(Teradyne)完成收購Nextest Systems Corp.,獲得閃存測試Magum系列產(chǎn)品,公司業(yè)務(wù)得以擴展到閃存測試市場。
2008年1月,科利登(Credence)宣布停止研發(fā)Sapphire平臺。
2008年3月,AccoTEST作為北京華峰測控技術(shù)有限公司的事業(yè)部成立,AccoTEST做為半導(dǎo)體IC量產(chǎn)測試的品牌正式亮相。
2008年3月,Lev Alperovich創(chuàng)辦Test Evolution,這也是Lev Alperovich第三次創(chuàng)業(yè)。其前兩次創(chuàng)辦的Axiom Technology和StepTech最后都整合進了LTX-Credence。
2008年8月,華峰測控(AccoTEST)正式推出STS8200模擬及混合信號測試系統(tǒng)平臺。
2008年8月29日,LXT與科利登(Credence)合并變成LTX-Credence。
2008年8月31日,愛德萬測試(Advantest)完成收購Credence Systems GmbH(原SZ Testsystem),獲得模擬測試技術(shù),從而得以進入汽車電子測試領(lǐng)域的德國博世(BOSCH)公司。
2008年11月17日,泰瑞達(Teradyne)完成對Eagle Test Systems收購,加強公司模擬測試業(yè)務(wù)。
2008年11月26日,惠瑞捷(Verigy)宣布推出V6000測試系統(tǒng),可在同一套自動化測試設(shè)備(ATE)機臺上,測試FLASH和DRAM內(nèi)存,包括V6000e、V6000WS、V6000FT。
2009年,長川科技推出第一代數(shù)?;旌蠝y試機CTA8200。
2009年4月29日,北京冠中集創(chuàng)科技有限公司成立。
2009年6月15日,惠瑞捷(Verigy)收購Touchdown Technologies,Touchdown是一家私人控股公司,為設(shè)計,制造和支持先進的微機電系統(tǒng)探針卡,以支持全球半導(dǎo)體制造商的晶圓測試需求。
2010年代:雙寡頭格局
泰瑞達(Teradyne)、愛德萬測試(Advantest)雙寡頭形成。中國廠商崛起。廣立微和華峰測控、冠中集創(chuàng)都有不俗表現(xiàn)。
2010年,杭州廣立微電子有限公司(Semitronix)開始晶圓級電性測試機的研發(fā)。廣立微(Semitronix)成立于2003年,也是一家良率提供軟件公司。
2010年7月,惠瑞捷(Verigy)在韓國安裝并驗證其全球首款面向GDDR5超快存儲芯片快速高良率測試系統(tǒng)V93000 HSM6800系統(tǒng)。
2010年,組建冠中集創(chuàng)公司,當(dāng)年推出基于事件架構(gòu)PerPin通道的400Mbps數(shù)字測試系統(tǒng)CATT-400M,大量推向民品市場。
2011年7月4日,愛德萬測試(Advantest)完成收購惠瑞捷(Verigy),使得其在SOC測試市場份額得以迅速發(fā)展。
2011年,冠中集創(chuàng)推出國內(nèi)首臺CATT-400M-CIS影像傳感器測試系統(tǒng),并進入中芯國際上海工廠。
2012年,冠中集創(chuàng)推出國內(nèi)首臺3500測試通道的LCDDRV測試系統(tǒng)CATT-400M-LCDDRV。
2012年1月,華峰測控(AccoTEST)推出基于全浮動資源的STS8200模擬及混合信號測試系統(tǒng)。
2012年,橫河(Yokogawa)整個裁撤ATE事業(yè)部。
2012年,YIKC成立,收購橫河(Yokogawa)的Memory測試機技術(shù)。YIKC意思是Yokogawa In Korea Company,意指橫河在韓國公司。
2012年,專業(yè)測試商京元電子(KYEC)開發(fā)出200MHz測試技術(shù),未來將持續(xù)朝高階測試機臺研發(fā)邁進。
2012年6月,原Intersil ATE產(chǎn)品線工程師創(chuàng)辦ElevATE Semiconductor。這是一家針對 ATE設(shè)備開發(fā)芯片的公司。
2012年,芝測(ShibaSoku Co.,Ltd.)推出用于MOSFET、SBD和車載IGBT測量的SW系列機臺。
2013年12月1日,LTX-Credence收購了Everett Charles,強化電路板測試業(yè)務(wù);收購Multitest,強化分選機業(yè)務(wù)。
2013年,長川科技推出第二代數(shù)?;旌蠝y試機CTA8280,后續(xù)推出CTA8280F。
2014年,美國國家儀器有限公司(National Instruments,NI)正式進入ATE領(lǐng)域,發(fā)布了STS系統(tǒng)。公司早在1997年就進入了集成電路Lab市場。
2014年5月,LTX-Credence更名Xcerra Corporation。
2014年,長川科技推出功率器件測試機CTT3600和分立器件測試機CTT3280。
2014年,冠中集創(chuàng)推出國內(nèi)首臺可以同時測試128個Flash的CATT-400M-FLASH測試系統(tǒng)。
2015年,冠中集創(chuàng)推出對標(biāo)泰瑞達IP750的CATT-400M-CIS測試系統(tǒng),通過索尼(Sony)半導(dǎo)體的認(rèn)證,正式在索尼(Sony)產(chǎn)業(yè)鏈中大批量應(yīng)用。
2015年,YIKC收購AT Technology。
2015年7月,華峰測控(AccoTEST)量產(chǎn)測試設(shè)備銷售突破1000臺。
2015年,SPEA推出MEMS測試設(shè)備H3580,可以針對不同的MEMS產(chǎn)品進行測試,包括慣性傳感器、濕度傳感器、壓力傳感器、紫外線傳感器、接近傳感器、MEMS麥克風(fēng)、磁傳感器、組合傳感器和其他IC器件。
2016年,長川科技推出CTT3320。
2017年2月,悅芯科技成立,推出T800測試系統(tǒng)。
2017年,Spandnix開發(fā)了混合信號LSI測試系統(tǒng)(SX-3000A系列)。
2017年,長川科技推出采用全浮動VI源架構(gòu)的第三代數(shù)?;旌蠝y試機CTA8290D。
2018年3月23日,武漢精測電子集團股份有限公司設(shè)立武武漢精鴻電子技術(shù)有限公司,布局半導(dǎo)體ATE設(shè)備。精測電子成立于2006年4月,從事LCD/PDP平面顯示信號測試。
2018年8月,華峰測控(AccoTEST)測試機總銷售臺數(shù)突破2000臺。
2018年9月18日,華峰測控(AccoTEST)推出“ALL in ONE”的STS8300全新模擬及混合信號測試平臺。
2018年10月1日,Cohu完成收購Xcerra;雙方股東在2018年8月30日同意此并購案;2018年5月8日,Cohu與Xcerra簽署協(xié)議,將以現(xiàn)金和股票相結(jié)合的方式收購,交易對價合計約7.96億美元。
2018年11月,廣立微(Semitronix)順利完成電學(xué)參數(shù)測試機Semitronix Tester T4000的交付。
2019年1月30日,泰瑞達(Teradyne)收購大功率半導(dǎo)體測試設(shè)備供應(yīng)商Lemsys。
2019年2月21日,愛德萬測試(Advantest)完成收購Astronics公司商用半導(dǎo)體系統(tǒng)級測試事業(yè)部,以新成立的實體Advantest Test Solutions, Inc.進行營運,為半導(dǎo)體產(chǎn)品及模組提供系統(tǒng)級測試。最終收購價格為1億美元,外加最高3500萬美元、依據(jù)特定績效表現(xiàn)所得的績效獎金;雙方在2018年12月談判時收購金額為1.85億美元,外加3000萬美元的特定績效表現(xiàn)所得績效獎金。
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