- 今日，Veeco公司推出了最新的的TurboDisc®EPIK700™氮化鎵(GaN)金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)系統(tǒng)，結合了該行業(yè)最高的生產率與最佳良率這兩大優(yōu)勢，運營成本低，從而進一步降低通用照明應用的發(fā)光二極管(LED)的制造成本。
EPIK700 MOCVD系統(tǒng)采用了Veeco大生產驗證過的TurboDisc技術，具有行業(yè)內最大的反應腔，其產能相當于目前的其它反應腔的兩倍多。反應腔的容量增加，再加上腔內波長均勻性以及生產力的提升，與之前的反應腔相比，其產量提高了
- 關鍵字：
Veeco 氮化鎵 TurboDisc
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