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4200a 文章 最新資訊

用4200A和矩陣開(kāi)關(guān)搭建自動(dòng)智能的可靠性評(píng)估平臺(tái)

  • _____在現(xiàn)代ULSI電路中溝道熱載流子(CHC)誘導(dǎo)的退化是一個(gè)重要的與可靠性相關(guān)的問(wèn)題。載流子在通過(guò)MOSFET通道的大電場(chǎng)加速時(shí)獲得動(dòng)能。當(dāng)大多數(shù)載流子到達(dá)漏極時(shí),熱載流子(動(dòng)能非常高的載流子)由于原子能級(jí)碰撞的沖擊電離,可以在漏極附近產(chǎn)生電子—空穴對(duì)。其他的可以注入柵極通道界面,打破Si-H鍵,增加界面態(tài)密度。CHC的影響是器件參數(shù)的時(shí)間相關(guān)的退化,如VT、IDLIN和IDSAT。這種通道熱載流子誘導(dǎo)的退化(也稱(chēng)為HCI或熱載流子注入)在NMOS和PMOS器件上都可以看到,并會(huì)影響所有區(qū)域的器件
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如何用4200A-SCS進(jìn)行晶圓級(jí)可靠性測(cè)試?

  • 每個(gè)芯片上更多器件和更快時(shí)鐘速度的不斷發(fā)展,推動(dòng)了幾何形狀縮小、新材料和新技術(shù)的發(fā)展。由于更脆弱、功率密度更高、器件更復(fù)雜和新的失效機(jī)制,所有這些因素都對(duì)單個(gè)器件的壽命和可靠性產(chǎn)生了巨大的影響,曾經(jīng)壽命為100年的器件的生產(chǎn)工藝現(xiàn)在可能只有10年的壽命,這與使用這些器件的預(yù)期工作壽命非常接近。較小的誤差范圍意味著,必須從一開(kāi)始就考慮器件的壽命和可靠性,從設(shè)備開(kāi)發(fā)到工藝集成再到生產(chǎn)不斷進(jìn)行監(jiān)控,即使是很小的壽命變化,對(duì)今天的設(shè)備來(lái)說(shuō)也可能是災(zāi)難性的。每個(gè)芯片上更多器件和更快時(shí)鐘速度的不斷發(fā)展,推動(dòng)了幾何形狀
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4200A-CVIV多開(kāi)關(guān)使測(cè)試時(shí)間縮短30倍

  • 泰克高性能4200A-SCS 是一個(gè)模塊化、可定制、高度一體化的參數(shù)分析儀,可同時(shí)進(jìn)行電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 電學(xué)測(cè)試。
  • 關(guān)鍵字: 泰克  4200A-SCS  模塊化  參數(shù)分析儀  
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4200a介紹

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