光電子技術在傳感器技術中的應用

　　五、傳感器系統(tǒng)技術參數(shù)和特性傳感器系統(tǒng)的技術參數(shù)和特性如下： ①靈敏度為1me； ②空間分辨率是可變的，其范圍是0.1~2mm； ③應變大小高達15%； ④測量位置靈活，光柵平面上任一點均可測量； ⑤可進行動態(tài)和連續(xù)應變測量； ⑥數(shù)據采集和處理都是自動化的； ⑦用戶易于觀察系統(tǒng)接口； ⑧結構緊湊，體積小。

　　六、結論新型實用的應變傳感器系統(tǒng)可以只利用一個位敏探測器，這時可用下式計算應變： (17) 無規(guī)噪聲引起的應變誤差的標準偏差為： (18) 對比方程(18)和方程(9)可知：利用兩個位敏探測器可大大減少無規(guī)噪聲誤差，也可顯著地減小由于激光束與試樣法線方向的偏離所引起的系統(tǒng)誤差。因此，利用兩個位敏探測器不僅可增加應變測量靈敏度和精度，而且可消除無規(guī)噪聲誤差和系統(tǒng)噪聲誤差。這種新型應變傳感器優(yōu)于現(xiàn)有的同類儀器，是精密測量領域的一種實用傳感器系統(tǒng)，可應用于微電子學、高等材料力學、微米力學和納米力學等領域。