三星研發(fā)“智能傳感器系統”，用于提高半導體良率和產能

12月26日消息，據韓媒 ETNews 報道，三星電子正在開發(fā)自己的“智能傳感器系統”，用于對半導體工藝的控制和管理。這項新技術有望提高半導體良率、提高生產率。

提高半導體良率的關鍵點之一，是精確控制半導體生產過程中等離子體的均勻性和密度，而“智能傳感器系統”用于測量晶圓等離子均勻性，準確測量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能，有望提高半導體良率和產能。

三星現有的晶圓智能傳感器大部分采購自美國等國外廠商，耗資巨大。而近期對于提高產量的需求不斷飆升，倒逼三星轉向自研，降低對外國傳感器的依賴程度。

當前，三星電子內部已經開始了智能傳感器系統的研究與開發(fā)，預計未來將應用于無人駕駛和人工智能半導體制造過程。該項目據悉正在與有關伙伴和學術界合作進行。

此外，三星電子正在開發(fā)的智能傳感器據悉為超小型，不會對現有設備空間造成太大影響。這意味著還能夠提高空間利用率。

三星電子還計劃逐步擴大智能傳感器的開發(fā)和應用范圍。其目的是開發(fā)智能傳感器和系統，可用于各種半導體工藝，而不限于等離子體。

來源：芯傳感