陶瓷厚膜壓力傳感器的優(yōu)點(diǎn)

陶瓷厚膜壓力傳感器是繼擴(kuò)散硅壓力傳感器之后壓力傳感器的又一次重大的技術(shù)創(chuàng)新，而力敏Z-元件是目前國(guó)內(nèi)外唯一具有數(shù)字信號(hào)輸出的敏感元件，因此陶瓷厚膜工藝與力敏Z-元件的最簡(jiǎn)單電路的巧妙結(jié)合，可以出現(xiàn)一種性能優(yōu)異、成本低廉的新型壓力傳感器。具體來(lái)說(shuō)，陶瓷厚膜工藝有下述優(yōu)點(diǎn)：

1、厚膜電阻（包括高溫導(dǎo)線）能與陶瓷彈性膜片牢固地?zé)Y(jié)在一起，不需用膠進(jìn)行粘貼。這種剛性結(jié)構(gòu)蠕變小，漂移小，靜態(tài)性能穩(wěn)定，動(dòng)態(tài)性能好。
2、 陶瓷彈性體性能優(yōu)良，平整、均勻、質(zhì)密的材料在程度范圍內(nèi)都嚴(yán)格遵循虎克定律，無(wú)塑性變形。
3、厚膜彈性體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，易于制備。它與擴(kuò)散硅壓力傳感器相比，不需半導(dǎo)體平面工藝來(lái)形成擴(kuò)散電阻彈性膜片，大幅度減小了生產(chǎn)線的前期投入和工藝加工成本。
4、陶瓷厚膜結(jié)構(gòu)耐液體或氣體介質(zhì)的腐蝕，不需通過(guò)不銹鋼膜片和硅油的轉(zhuǎn)換與隔離，封裝結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，進(jìn)一步降低成本。
5、工作溫度范圍寬， 可達(dá)-40℃~120℃。
6、工作量程寬。量程決定于膜片的有效半徑與厚度之比，只要微壓力不小于1Kpa，原則上較高的量程也易于實(shí)現(xiàn)。