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一種基于閉環(huán)MEMS的電容式慣性傳感器設計

- 微機械式慣性傳感器已經成為許多消費產品的一個組成部分,比如手持式移動終端、照相機和游戲控制器等。此外,微機械式慣性傳感器還被廣泛用于工業(yè)、汽車安全和穩(wěn)定控制以及導航領域中的振動監(jiān)測。一般來說,微型傳感器可以是壓電式、壓阻式或電容式傳感器。然而,電容式傳感的高熱穩(wěn)定性和高靈敏度使得它對種類廣泛的應用來說更具吸引力。 帶數字讀取功能的基本的電容式傳感器接口電路由電容到電壓轉換器(C/V),以及隨后的模數轉換器(A/D)和信號調節(jié)電路組成。以開環(huán)配置(沒有反饋信號)運行這種傳感器可以形成相對簡單的系統(tǒng),這種系
- 關鍵字: MEMS ASIC
華虹宏力和矽??萍忌罨瘧?zhàn)略合作,再次發(fā)力MEMS傳感器市場

- 世界領先的8英寸晶圓代工廠之一,上海華虹宏力半導體制造有限公司(以下簡稱“華虹宏力”)和上海矽??萍加邢薰?以下簡稱“矽??萍肌?日前聯(lián)合宣布,雙方將深化合作,聯(lián)合開發(fā)和生產新一代MEMS傳感器。此舉將進一步鞏固雙方的戰(zhàn)略合作伙伴關系,并將進一步增強雙方在MEMS領域的領先優(yōu)勢。 雙方合作生產的第二款產品、擁有自主知識產權的加速度傳感器QMA5981,已于近日成功上市。該款產品是矽??萍蓟谌A虹宏力8英寸MEMS工藝平臺,自主研發(fā)的第一款三軸單芯片加速度傳感器產品。這標志著矽睿科技和華虹宏力共同創(chuàng)
- 關鍵字: 華虹宏力 矽睿科技 MEMS QMA5981
可穿戴產業(yè)鏈上游:MEMS傳感器廠商獨占44%
- 可穿戴設備拼殺漸現(xiàn)火光,價格戰(zhàn)的背后,真正得到實惠的還得是上游供貨商,MEMS傳感器被業(yè)界看好,能夠占到44%的上游份額。機會來了,相關廠商能抓住嗎?
- 關鍵字: 可穿戴產業(yè)鏈 MEMS
mems 介紹
MEMS是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分,它是在融合多種微細加工技術,并應用現(xiàn)代信息技術的最新成果的基礎上發(fā)展起來的高科技前沿學科。
MEMS技術的發(fā)展開辟了一個全新的技術領域和產業(yè),采用MEMS技術制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構件、微機械光學器件、真空微電子器件、電力電子器件等在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾 [ 查看詳細 ]
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