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硅壓阻式壓力傳感器 文章 最新資訊

MEMS壓力傳感器及其應(yīng)用

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硅壓阻式壓力傳感器介紹

壓阻式傳感器　　壓阻式傳感器 　　piezoresistance type transducer 　　利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器。單晶硅材料在受到力的作用后，電阻率發(fā)生變化，通過測量電路就可得到正比于力變化的電信號(hào)輸出。壓阻式傳感器用于壓力、拉力、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量、?yīng)變、流量、真空度）的測量和控制（見加速度計(jì)）。 　　 [ 查看詳細(xì) ]

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